Дифузійні методи
Метод дифузії, точніше метод її здійснення в твердих матеріалах, широко використовується в останній час. Це пов’язано з перевагами методу, одним з яких є простота використовуваного устаткування і самого процесу. Сутність методу дифузії з твердих джерел полягає в нанесенні легованих одним або декількома елементами плівок на напівпровідники. Існує ще кілька методів здійснення дифузії, крім методу твердих джерел:
- в замкнутому об’ємі (ампульний спосіб). Мінімальна токсичність є перевагою методу, однак його дорожнеча, обумовлена одноразові ампули, є істотним недоліком;
- в незамкнутому обсязі (термічна дифузія). Виключаються можливості використання багатьох елементів з-за високих температур, а також бічна дифузія є великими недоліками даного методу;
- у частково-замкнутому об’ємі (бокс-метод). Це проміжний метод між двома описаними вище.
Для того, щоб більше дізнатися про методи та особливості проведення дифузії, необхідно вивчити додаткову літературу, присвячену конкретно цих питань.
